ما هي المواد التي تصنع منها أشباه الموصلات؟أهداف رش الموليبدينوم لأشباه الموصلات
اليوم ، يتم استخدام أهداف الاخرق في مجموعة متنوعة من التطبيقات التي تتراوح من صناعة أشباه الموصلات إلى ترسيب الأغشية الرقيقة للمواد المختلفة في معالجة الدوائر المتكاملة.الرش هو أسلوب راسخ لإيداع أغشية رقيقة من مجموعة متنوعة من المواد على ركائز بأشكال وأحجام مختلفة.من أجل الحصول على الخصائص المرغوبة في الأفلام المترسبة بالرش ، تعتبر مواد التصنيع والعمليات المستخدمة لتصنيع هدف الرشاش أمرًا بالغ الأهمية.أدناه نلقي نظرة على أهداف رش الموليبدينوم لأشباه الموصلات.
بالإضافة إلى أهداف المعادن النقية مثل التنجستن والموليبدينوم والنيوبيوم والتيتانيوم والسيليكون ، هناك أيضًا أهداف سبيكة مثل التنجستن والموليبدينوم والتيتانيوم والسيليكون والتنتالوم ، وكذلك المركبات مثل الأكاسيد أو النيتريد.إن عملية تحديد المادة لا تقل أهمية عن معلمات تشغيل الترسيب التي يتقنها المهندسون والعلماء أثناء عملية الطلاء.
بالمقارنة مع طرق الترسيب الأخرى ، يكون للفيلم المتطاير التصاقًا أفضل على الركيزة ، كما أن المواد ذات نقاط الانصهار العالية للغاية مثل الموليبدينوم والتنغستن يسهل ترشيشها بسهولة.أيضًا ، يمكن عمل الاخرق من أعلى إلى أسفل ، بينما لا يمكن أن يتم التبخر إلا من أسفل إلى أعلى.
عادةً ما تكون أهداف الرش مستديرة أو مستطيلة ، ولكن تتوفر أيضًا أشكال أخرى ، بما في ذلك التصميمات المربعة والمثلثة.الركيزة هي الشيء المراد تغطيته ، والذي يمكن أن يشمل رقائق أشباه الموصلات أو الخلايا الشمسية أو العناصر البصرية أو العديد من الاحتمالات الأخرى.عادة ما يكون سمك الطلاء في نطاق الأنجستروم إلى الميكرونات.يمكن أن يكون الغشاء مادة مفردة أو مواد متعددة في هيكل متعدد الطبقات.
كمعدن حراري مع مجموعة واسعة من الاستخدامات ، يتمتع الموليبدينوم بخصائص ميكانيكية ممتازة وتمدد منخفض وموصلية حرارية عالية وموصلية كهربائية عالية للغاية في درجات حرارة عالية.كهدف رشق ، هناك مجموعات مختلفة ، مثل هدف الموليبدينوم النقي ، هدف تيتانيوم الموليبدينوم ، هدف تنتالوم الموليبدينوم ، هدف سبيكة الموليبدينوم (مثل لوحة TZM).
يتميز هدف رش الموليبدينوم بخصائص النقاوة العالية ، الكثافة العالية ، الحبيبات الدقيقة والموحدة ، وذلك للحصول على كفاءة رش عالية للغاية ، وسمك غشاء موحد وسطح نقش أملس أثناء عملية الرش.